В дисертації викладено результати дослідження впливу іонної імплантації на структуру і функціональні властивості тонких плівок WO3, NiO, VOx та монокристалів InSb. Досліджено вплив іонних та температурних обробок на оптичні та електричні характеристики приладових структур на їх основі. Розроблено методики визначення структурного складу методами ВІМС і ВРХД на різних етапах (напорошення, імплантація, відпали) для забезпечення контрольованого формування матеріалів із заданими характеристиками.Встановлено залежності пропускання плівок WO3 та NiO від дози імплантованого водню. Проведено дослідження впливу складу електроліту на стабільність роботи електрохромної комірки. Оптимізовано конструкцію електрохромної комірки та створено прототипні зразки. Запропоновано новий метод синтезу плівок VOx з високим температурним коефіцієнтом опору та відтворюваністю характеристик. Визначено зміну структурних та електричних параметрів протягом технологічного маршруту. Досліджено процес формування p-n переходу в кристалах InSb методом іонної імплантації. Визначено оптимальні параметри легування для підвищення характеристик синтезованих структур.

Постачальник даних: УкрІНТЕІ (Український Інститут науково-технічної експертизи та Інформації)

  Завантажити автореферат