Досліджено електрофізичні властивості (термічний коефіцієнт опору (ТКО) та коефіцієнт поздовжньої тензочутливості (КТ)) одно-, дво- і тришарових плівкових систем на основі Cr, Cu і Sc (Co). Описано напівкласичні моделі ТКО і КТ для двошарових плівок, напівфеноменологічні моделі для багатошарових плівкових систем, які враховують температурну та деформаційну залежність середньої довжини вільного пробігу електронів, коефіцієнтів дзеркальності, проходження меж зерен і поділу шарів. Проаналізовано внесок об'ємного, поверхневого та зерномежового розсіювання у величину ТКО та температурну залежність КТ.

  Завантажити