Висвітлено проблему дослідження магнітної та крісталічної мікроструктури приповерхневих шарів епітаксійних плівок ЗІГ. Розроблено методику числового аналізу експериментальних КЕМ спектрів гранатових структур з великою кількістю близьких нееквівалентних положень з використанням інформації про їх мікрокристалічну будову, яка забезпечила повноту та достовірність отриманих результатів. Методика базується на квазінеперервному описі експериментального КЕМС. Вивчено вплив особливостей процесу рідкофазної епітаксії на властивості поверхневого шару плівка-повітря. Досліджено спотворення концентраційних профілів розподілу елементів за ВІМС пошарового аналізу, зумовлене виходом розпилених іонів матриці з різних глибин, селективним іонним перемішуванням компонент мішені та ефектом кратеру.

  Завантажити