Показано можливості використання джерел початкової іонізації для НВЧ-розрядників РЛС міліметрового та субміліметрового діапазону хвиль на базі метало-тритієвих структур у поєднанні з каналовими помножувачами електронів та мікроканальними пластинами і джерела початкової іонізації утвореного двома зустрічними голкоподібними електродами з тритідом титану на конічних поверхнях. Створено установку іонно-пучкової низькоенергетичної імплантації. Проведено експериментальні дослідження з імплантації іонів протію та дейтерію дегідрогенізованого й постгідрогенізованого аморфного кремнію з наступною низькотемпературною дифузією у вакуумі.

  Завантажити