| Замулко С.О. Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5 - 30 нм) Ni Ti, - монокристалічний кремній" : Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / С.О. Замулко ; Нац. техн. ун-т України "Київ. політехн. ін-т". — К., 2006. — 21 с. — укp.Запропоновано багатостадійну модель структурних та фазових перетворень у процесах реакційної дифузії в системах Ni - Si, Ti - Si за термічної обробки в інтервалі температур 773К - 1273К. Виявлено ефект "дифузійної перебудови" системи Ni - Ti - Si в систему Ti - Ni - Si за температури відпалу 723 К на основі порівняльного аналізу концентраційних розподілень компонентів. Встановлено, що особливу роль в дифузійному масопереносі компонентів за термічної обробки досліджених систем відіграє зовнішня поверхня: процеси, що розвиваються на зовнішній поверхні, термодинамічно обумовлюють масоперенос компонентів в об'ємі тонкоплівкової системи; зовнішня поверхня є стоковою для атомів титану, коли титан є проміжним шаром; коли на поверхні утворюється оксид титану, зовнішня поверхня відіграє роль дифузійного бар'єра для атомів речовини глибинних шарів. Запропоновано моделі дифузійного росту нових фаз: модель дифузії з реакцією в системі "підкладинка - шар скінченної товщини"; модель масопереносу у плоскошаровій системі "тверда фаза - рідка фаза - тверда фаза"; модель дифузійного росту включень нової фази різної геометричної форми в об'ємному середовищі, що є вичерпним джерелом дифузанту. Показано можливість практичного використання одержаних числовими методами розв'язків для моделювання та прогнозування дифузійного росту нових фаз. Завантажити
Індекс рубрикатора НБУВ: К204.32 + К663.7 + Шифр НБУВ: РА342457
Рубрики:
|