Запропоновано багатостадійну модель структурних та фазових перетворень у процесах реакційної дифузії в системах Ni - Si, Ti - Si за термічної обробки в інтервалі температур 773К - 1273К. Виявлено ефект "дифузійної перебудови" системи Ni - Ti - Si в систему Ti - Ni - Si за температури відпалу 723 К на основі порівняльного аналізу концентраційних розподілень компонентів. Встановлено, що особливу роль в дифузійному масопереносі компонентів за термічної обробки досліджених систем відіграє зовнішня поверхня: процеси, що розвиваються на зовнішній поверхні, термодинамічно обумовлюють масоперенос компонентів в об'ємі тонкоплівкової системи; зовнішня поверхня є стоковою для атомів титану, коли титан є проміжним шаром; коли на поверхні утворюється оксид титану, зовнішня поверхня відіграє роль дифузійного бар'єра для атомів речовини глибинних шарів. Запропоновано моделі дифузійного росту нових фаз: модель дифузії з реакцією в системі "підкладинка - шар скінченної товщини"; модель масопереносу у плоскошаровій системі "тверда фаза - рідка фаза - тверда фаза"; модель дифузійного росту включень нової фази різної геометричної форми в об'ємному середовищі, що є вичерпним джерелом дифузанту. Показано можливість практичного використання одержаних числовими методами розв'язків для моделювання та прогнозування дифузійного росту нових фаз.

  Завантажити