За допомогою сучасних методів фізичного матеріалознавства встановлено закономірності процесів дифузійного формування стабільних нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Ta, Ti, Pt на монокристалічному кремнії. З'ясовано, що формування силіцидних фаз в шарах нанометрових товщин відбувається в інших послідовностях, відмінних від передбачених діаграмами фазових рівноваг для масивних матеріалів, та в інших температурних інтервалах, ніж у шарах субмікронного діапазону товщин. Визначено основні чинники формування фізичних основ промислово-перспективних силіцидних нанотехнологій, якими є забезпечення контрольованості процесу одержання необхідної силіцидної фази та відтворюваності властивостей за допомогою введення між шаром металу та підкладкою (монокристалу кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійно-контролюючих мембран (ДКМ), які виконують різну регулюючу роль в розвитку процесів дифузійного фазоутворення. Показано можливість впливу даних зон на уповільнення та прискорення дифузійних процесів, зміну кінетики росту силіцидної плівки, стабілізацію необхідних за технологією силіцидних фаз, запобігання утворенню неоптимальних за властивостями метастабільних фаз та сприяння формуванню стабільних фаз.

  Завантажити