Установлено особливості фізичних процесів у багатошарових плівкових системах на основі Cu і Cr, або Ag та Fe і Cr або Cu, які можуть бути використані як чутливі елементи датчиків температури, деформації та тиску. Запропоновано методику оцінювання внеску інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину питомого опору, температурного коефіцієнта опору (ТКО) і коефіцієнта тензочутливості (КТ). Розраховано внесок об'ємного, поверхневого, зерномежового й інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину ТКО та КТ. Зроблено розрахунок статистичної ваги кожного з цих механізмів розсіювання електронів. Показано, що робочі характеристики чутливих елементів датчиків теператури, деформації та тиску можуть бути покращані за рахунок інтерфейсного розсіювання. Проаналізовано особливості процесів дифузії та фазоутворення у двошарових плівкових системах, компоненти яких мають різну взаємну розчинність. Вивчено проблему стабільності інтерфейсів.

  Завантажити