|
|
РА423062
 Палагін, Віктор Андрійович.
Методологічні основи проектування технолоій виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Палагін Віктор Андрійович ; Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. - Харків, 2016. - 43 с. : рис.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Харківський національний університет радіоелектроніки
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|