|
ДС147712 Шпилевой, Павел Борисович. Разработка и исследование Nb-Al тонкопленочной технологии для сенсорных применений [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Шпилевой Павел Борисович ; НАН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. - Киев, 2011. - 164 л. : рис., табл. - Бібліогр.: арк. 145-159.Рубрикатор НБУВ: УДК: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Национальная академия наук Украины; Институт кибернетики имени В. М. Глушкова (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|