![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
![Mozilla Firefox](../../ico/mf.png) |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Пошуковий запит: (<.>U=з844.152-06-7 с5<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. ![](/irbis_nbuv/images/printer.jpg) | ДС40450 Суббота, Юрий Васильевич. Методы лазерного сканирующего контроля дефектности поверхности кремниевых пластин [Текст] : дис...канд.техн.наук:05.27.06 / Суббота Юрий Васильевич ; АН Украины, Ин-т физики полупроводников. - К., 1993. - 190 с. - Библиогр:с.180-190Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Академия наук Украины (Киев); Институт физики полупроводников (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|
|