Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Наукова періодика України - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
| Знайдено в інших БД: | Реферативна база даних (1) |
Список видань за алфавітом назв: Авторський покажчик Покажчик назв публікацій  |
Пошуковий запит: (<.>AT=Баранов Эффективная ионная очистка в$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | 
Баранов О. О. Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода [Електронний ресурс] / О. О. Баранов, М. С. Романов // Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. - 2010. - Вып. 3. - С. 50-57. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pptvk_2010_3_7 Исследована возможность эффективной ионной очистки поверхности подложки-катода (ПК) в разряде планарного магнетрона. Показано, что использование соленоида, размещенного под катодом со структурой полого катода, позволяет получить планарное магнетронное распылительное устройство с зоной распыления, занимающей до 93 % поверхности дисковой части ПК. Полученные распределения плотности ионного тока вдоль поверхности катода имеют максимум как на дисковой (до 140 А/м<^>2 | ||
Попередній перегляд: 
Реферативна БД
 |
| Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів |
 Пам`ятка користувача |