Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Наукова періодика України - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
| Знайдено в інших БД: | Реферативна база даних (1) |
Список видань за алфавітом назв: Авторський покажчик Покажчик назв публікацій  |
Пошуковий запит: (<.>AT=Рогоз Влияние безвакуумного отжига на$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | 
Рогоз В. Н. Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbSix : N [Електронний ресурс] / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_2_21 Описаны особенности изменения нитридных покрытий NbNx и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены с помощью метода магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = - 10 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °C в атмосфере воздуха. | ||
Попередній перегляд: 
Реферативна БД
 |
| Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів |
 Пам`ятка користувача |