Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Рогоз Влияние безвакуумного отжига на$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Рогоз В. Н. Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbSix : N [Електронний ресурс] / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_2_21 Описаны особенности изменения нитридных покрытий NbNx и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены с помощью метода магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = - 10 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °C в атмосфере воздуха.
|
|
|