Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Gamov D$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 3
Представлено документи з 1 до 3
|
1. |
Oberemok O. S. Mechanism of Oxygen Redistribution During Ultra-Shallow Junction Formation in Silicon [Електронний ресурс] / O. S. Oberemok, D. V. Gamov, V. G. Litovchenko, B. M. Romanyuk, V. P. Melnik, V. P. Klad’ko, V. G. Popov, O. Yo. Gudymenko // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2013. - Vol. 2, no. 1. - С. 01PCSI14-01PCSI14. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2013_2_1_57
| 2. |
Oberemok O. S. Formation of silicon nanoclusters in buried ultra-thin oxide layers [Електронний ресурс] / O. S. Oberemok, V. G. Litovchenko, D. V. Gamov, V. G. Popov, V. P. Melnik, O. Yo. Gudymenko, V. A. Nikirin, І. M. Khatsevich // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2011. - Vol. 14, № 3. - С. 269-272. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2011_14_3_4 The peculiarities of buried layer formation obtained by co-implantation of O2 ions with the energy of 130 keV and carbon ions within the energy range of 30 - 50 keV have been investigated. The corresponding ion doses for carbon and oxygen ions were equal to <$E 2~times~10 sup 16> and <$E 1,8~times~10 sup 17~roman cm sup -2>, respectively. It has been observed that annealing at 1150 <$E symbol Р>C results in enhanced oxygen diffusion towards the region with a maximum carbon concentration. Analysis of X-ray diffraction patterns with a SIMS depth profiles inherent to annealed samples suggests formation of Si nanoclusters in the region with maximum concentrations of carbon and oxygen vacancies. The intensive luminescence has been observed with the maximum at 600 nm, which could be associated with silicon nano-inclusions in thin stoichiometric SiO2 layer.
| 3. |
Gamov D. V. Research of recombination characteristics of Cz-Si implanted with iron ions [Електронний ресурс] / D. V. Gamov, O. I. Gudymenko, V. P. Kladko, V. G. Litovchenko, V. P. Melnik, O. S. Oberemok, V. G. Popov, Yu. O. Polishchuk, B. M. Romaniuk, V. V. Chernenko, V. M. Naseka // Ukrainian journal of physics. - 2013. - Vol. 58, № 9. - С. 881-887. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2013_58_9_13 Проведено порівняльні дослідження процесів дефектоутворення та зміни часу життя не основних нерівноважних носіїв заряду в кремнії у процесі гетерування домішки заліза комбінованим гетером "шар поруватого кремнію + плівка алюмінію". Показано, що в процесі відпалу зразків без гетерного шару в імплантованій області формуються силіцид заліза та дефекти вакансійного типу, внаслідок чого спостерігається сильне зниження часу життя нерівноважних неосновних носіїв заряду. Проведено дослідження впливу гетерного шару на процеси дефектоутворення та перерозподілу атомів заліза, імплантованих в кремній, у випадку їх високих концентрацій в приповерхневій області. Показано, що наявність гетерного шару зменшує ефективність силіцидоутворення в імплантованій області та збільшує концентрацію міжвузлових дефектів у кремнії. Запропоновано фізичну модель процесу гетерування, яка враховує зменшення концентрації атомів заліза в імплантованій області за рахунок гетерування і зменшення концентрації вакансійних дефектів, а також одночасне зростання концентрації дефектів міжвузлового типу, які пов'язані з формуванням комплексів заліза з атомами бору. Саме ці комплекси є рекомбінаційно-активними і не дають можливість відновити час життя носіїв заряду до вихідного значення.
|
|
|