Авраменко С. Ф. Исследование структурных дефектов в объемных кристаллах карбида кремния / С. Ф. Авраменко, М. Я. Валах, В. С. Киселев, М. Я. Скороход // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 3. - С. 33-39. - Библиогр.: 6 назв. - рус.За допомогою проекційної рентгенівської топографії та оптичної мікроскопії на проходження і відбиття досліджено структурні дефекти в об'ємних кристалах (булях) карбіду кремнію, вирощених сублімаційним методом Лелі. Було виявлено лінійні дислокації, дислокаційні петлі, проникнення сторонніх фаз, трубчасті пори (мікротрубки) та блоки. Проаналізовано причини виникнення більшості дефектів у SiC-булях. Дослідження показали, що модифікований метод Лелі дає можливість одержувати достатньо досконалі об'ємні кристали карбіду кремнію з низькою щільністю дислокацій та мікротрубок. Ключ. слова: карбид кремния, метод Лели, дислокация, дислокационная петля, микротрубка, рентгеновская топограмма Індекс рубрикатора НБУВ: В379.221
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|