Сидоренко С. И. Исследование структурных превращений в тонких пленках системы V-Si методом когерентного оптического фурье-анализа / С. И. Сидоренко, Ю. Н. Макогон, Л. П. Максимович, А. Ю. Васильковский, А. А. Дзярук // Металлофизика и новейшие технологии. - 1998. - 20, № 8. - С. 25-33. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Вивчено особливості структурних перетворень тонких плівок системи ванадій-кремній при термічній обробці методом когерентного оптичного фур'є-аналізу. Досліджено закономірності формування силіцидних фаз в тонкоплівковій системі V-Si при відпалах при температурах 720, 860, 950, 1060 та 1200 К. Встановлено, що процеси силіцидоутворення супроводжуються складними морфологічними змінами структури та істотно залежать від температури відпалу. Ключ. слова: фурье-анализ, тонкая пленка, силицид, аморфная фаза, кристаллическое состояние Індекс рубрикатора НБУВ: В372
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|