Розглянуто та проаналізовано кінетичні області термічного розкладу реагентів. Встановлено зв'язок між температурним інтервалом, що характеризує відповідну кінетичну область, та кінетичними параметрами активаційної кривої. Детерміновано умови гомогенної нуклеації та росту дисперсних осадів в умовах CVD. На підставі цього розроблено теоретичні засади вибору граничних режимів та оптимізації осадження розмірних порошків.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"