Рассмотрены основные зарубежные проекты и достижения в области микросистемной техники, а также проведена оценка микроэлектромеханических систем с помощью коэффициента качества в виде суммы числа транзисторов и числа механических компонент.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"