Сидоренко С. И. Структурные превращения в тонких пленках системы Cr - Si / С. И. Сидоренко, Ю. Н. Макогон, В. А. Мохорт, А. А. Дзярук, О. В. Зеленин // Металлофизика и новейшие технологии. - 1999. - 21, № 2. - С. 52-56. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Вивчались особливості структурних перетворень тонких плівок системи хром-кремній при термічній обробці методом когерентного оптичного фур'є-аналізу. Досліджено особливості морфології структури в вихідному стані та при відпалах, а також закономірності формування силіцидних фаз в тонкоплівковій системі Cr-Si. Встановлено, що процеси силіцидоутворення супроводжуються лінійним зростанням середніх розмірів структурних неоднорідностей, а також складними морфологічними змінами структури. Ключ. слова: фурье-анализ, тонкая пленка, силицид, аморфная фаза, структурные неоднородности Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|