РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000030738<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Gorbach T. Ya. 
Electroreflectance spectroscopy and scanning electron microscopy study of microrelief silicon wafers with various surface pretreatments = Спектроскопія електровідбиття та скануюча електронна мікроскопія кремнієвих мікрорельєфних пластин з різними попередніми обробками поверхні / T. Ya. Gorbach, R. Yu. Holiney, I. M. Matiyuk, L. A. Matveeva, S. V. Svechnikov, E. F. Venger // Фізика напівпровідників, квантова та оптоелектроніка. - 1998. - 1, № 1. - С. 66-70. - Библиогр.: 9 назв. - англ.

Методами спектроскопії низькопольового електровідбиття, растрової електронної мікроскопії та електронографії досліджено вплив попередніх обробок поверхні кремнію (різка; різка та механічна поліровка; різка та хімічна поліровка; стандартна фабрична обробка) на досконалість анізотропно травлених мікрорельєфних пластин. Як критерій досконалості аналізуються енергія критичної точки Eg в центрі зони Бріллюена (переходи GAMMA25Iv - GAMMA15c), феноменологічний параметр уширення GAMMA, рухливість носіїв заряду, морфологічні особливості поверхні та кристалічна структура. Показана можливість використання попередньої обробки різкою для виготовлення достатньо досконалих анізотропно травлених мікрорельєфних пластин. При цьому очікується зменшення їх кошторису.


Ключ. слова: silicon, cutting pretreatment, critical point energy, broading parameter
Індекс рубрикатора НБУВ: К68

Рубрики:
 Складання машин і механізмів 

Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського