Venger Ye. F. Heat tolerance of titanium boride and titanium nitride contacts to gallium arsenide = Термічна стійкість контактів, утворених боридами та нітридами титану на арсеніді галію / Ye. F. Venger, V. V. Milenin, I. B. Ermolovich, R. V. Konakova, D.I. Voitsikhovskiy, I. Hotovy, V. N. Ivanov // Фізика напівпровідників, квант. електроніка та оптоелектроніка. - 1999. - 2, № 1. - С. 124-132. - Библиогр.: 8 назв. - англ.Досліджено механізми утворення та термічна стабільність контактів, сформованих йонно-плазмовим напилюванням боридів і нітридів титану на арсенід галію. Застосовано комплекс структурних, вторинно- емісійних, оптичних і електрофізичних методів: електронографія, рентгенофазовий аналіз, мікроскопія атомних сил, Оже-електронна спектроскопія, мас-спектрометрія вторинних йонів, зняття спектрів фотолюмінесценції та вольт-амперних характеристик. Запропоновано фізичну модель контактоутворення, згідно якої при осадженні боридів (нітридів) титану на міжфазовій межі формуються тверді розчини BxGa1-xAs(GaNxAs1-x). У ході формування гетероструктур і наступних термічних обробок у приконтактних ділянках напівпровідника генеруються дефекти. Через них відбувається взаємозв'язок між фізико-хімічними взаємодіями на міжфазових межах контактів та їх електрофізичними параметрами. Досліджені об'єкти мають високу термічну стабільність. Це зумовлено їх двошаровою структурою, утвореною компонентами з яскраво вираженими антидифузійними властивостями. Внаслідок цього різко послаблюються процеси взаємодії на міжфазових межах. Ключ. слова: контакти метал-напiвпровiдник, бориди титану, нiтриди титану, термiчна стабiльнiсть Індекс рубрикатора НБУВ: В379.271
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|