Исследовано влияние газов остаточной атмосферы при различных вакуумных условиях напыления на формирование структуры пленок a - Si_{1 - x}C_x, осаждаемых с помощью магнетронного распыления составной кремний-графитовой мишени. Проведен анализ спектров поглощения и комбинационного рассеяния света пленок с различными значениями x и напыленных при различных вакуумных условиях. Описана методика анализа состояния углерода в пленках a - Si_{1 - x}C_x методом сравнительного анализа спектров оже-электронной спектроскопии высокого разрешения. Показано, что при избытке в остаточной атмосфере кислородсодержащих газов (в основном моноокиси углерода) формируется преимущественно две аморфных фазы SiO_x и кластеры углерода.

• Венгер Євген Федорович (1947–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"