РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000031671<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Бугаев Е. А. 
Влияние условий осаждения на структурно-фазовый состав пленок TaSi2 на кремнии / Е. А. Бугаев, Ю. Н. Макогон, Е. П. Павлова, С. И. Сидоренко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2001. - 23, № 5. - С. 609-613. - Библиогр.: 6 назв. - рус.

Досліджено процеси формування фазового складу і структури плівок TaSi2 на кремнії. Показано, що погіршення базового вакууму та зменшення швидкості осадження плівок TaSi2 для магнетронного методу одержання викликають зменшення швидкості кристалізації з аморфного стану. Це пов'язано з підвищенням концентрації домішкових атомів O і C.


Ключ. слова: пленки дисилицида тантала, магнетронный метод, силициды, кристаллизация
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-1

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського