Шемченко Е. И. Исследование характеристик алмазоподобных пленок, полученных методом магнетронного распыления / Е. И. Шемченко, Р. В. Шалаев, Е. Г. Пашинская // Физика и техника высоких давлений. - 2001. - 11, № 2. - С. 83-85. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Исследованы некоторые прочностные и оптические характеристики алмазоподобных alpha-CH- и СНx-пленок, выращенных методом магнетронного распыления графита в газовой смеси Н2 - N2. Подобраны оптимальные режимы распыления мишени, произведена вариация процентного состава смеси для получения наиболее твердых пленок. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14388 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|