Досліджено механізми формування силіцидних плівок тугоплавких металів, зокрема TiSi₂, з використанням дисиланової технології аморфного кремнію, яка забезпечує низьку дефектність і зниження послідовного контактного опору і міжз'єднань приладних структур ВІС. Двошарова плівка аморфного кремнію і титану формується одностадійним процесом піролізу дисилану та тетрахлориду титану в реакторі зниженого тиску в пульсуючому режимі, а формування дисиліцидної плівки здійснено швидким фотонним відпалом у формінгазі.

• Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"