Бахрушин В. Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций / В. Е. Бахрушин; Гуманитар. ун-т "Запорож. ин-т гос. и муницип. упр.". - Запорожье, 2001. - 248 c. - Библиогр.: с. 214-245 - рус.Рассмотрены вопросы термодинамики неидеальных разбавленных твердых растворов, определения закономерностей формирования физических свойств слаболегированных кристаллов, содержащих неконтролируемые примеси и дефекты структуры. Описаны свойства слаболегированных слоев кремниевых композиций, их структуры, приведены методы их измерения и контроля физических свойств. Проанализировано влияние неконтролируемых фоновых примесей на физические свойства слаболегированных слоев кремниевых и германиевых композиций. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.33,021
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА614456 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|