Иванчиков А. Э. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А. Э. Иванчиков, А. М. Кисель, А. Б. Медведева, В. И. Плебанович, В. Н. Пономарь, В. Е. Шикуло // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2003. - № 5. - С. 46-50. - Библиогр.: 3 назв. - ^apуc.Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов". Formation of small-sized contact holes with plasma etching method and basic factors of post-etch residues generation are considered. Chemical composition of the post-etch polymer residues and the contamination removal mechanism with the PRX mixtures are studied. An indirect performance estimation of the residues removing with thermal treatment during "contact reflow" operation (through silicon dioxide thickness spread) is performed. Ключ. слова: удаление полимерных загрязнений, полимерные загрязнения. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|