Досліджено запропонований новий хвилепровідний тракт, що складається з плоскопаралельного відкритого хвилеводу та двох секторних рупорів спеціальної геометрії, який за використання його у складі вимірювального плеча інтерферометра чотирьохміліметрового діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності за безконтактного контролю товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва.

Исследован новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра четырехмиллиметрового диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства.

The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates of open waveguide and two sector horns of special geometry, which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at the contact less thickness dielectric films control during their production is under consideration.

• Суслов Микола Миколайович (фізико-математичні науки)
• Степанов Віктор Юрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"