Наведено принципи роботи двовимірних болометричних матриць, які використовуються у тепловізійних приймачах. Охарактеризовано основні процеси виготовлення монолітних кремнієвих мікромеханічно оброблених мікроболометрів, висвітлено особливості їх роботи у практичних інфрачервоних пристроях. Розглянуто принципи побудови піроелектричних інфрачервоних приймачів і деякі комплексні технологічні процеси їх виробництва.

Приведены принципы работы двухмерных болометрических матриц для применения в тепловизионных приемниках. Охарактеризованы основные процессы изготовления монолитных кремниевых микромеханически обработанных микроболометров, освещены особенности их работы в практических инфракрасных устройствах. Рассмотрены принципы построения пироэлектрических инфракрасных приемников и некоторые комплексные технологические процессы их производства.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"