На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры. Приведены результаты измерений оптических свойств и термочувствительности структур нанокристаллическая пленка - SiC/лейкосапфир.

On the basis of nanocrystalline films of cubic silicon carbide direct deposited from ion flow on a sapphire substrate the gauge of temperature was developed. Results of measurements of optical properties and thermosensitivity of heterostructure nanocrystalline SiC film/sapphire substrate were resulted.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"