Рассмотрены микроструктура, оптические и электрические свойства, технологические аспекты получения пленок карбида кремния. Раскрыты особенности процессов формирования его автоэпитаксиальных слоев, влияние подложки на их оптические свойства, а также особенности влияния условий роста на процессы образования дефектов в гетероэпитаксиальных монокристаллических пленках. Описаны фотолюминенсценция, состав и микроструктура толстых пленок кубического карбида кремния.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"