Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи программы MicroCap 7.0. Установлено, что уровень связи между биморфными пьезоэлементами, которые создают колебания по координатам X, Y, Z, не превышает -20 дБ.

Is offered and the design of the piezoceramic scanner for nanomicroscopes on a basis bimorphic of piezoelements is investigated. Is constructed and the model of this scanner is investigated through the program MicroCap 7.0. Is established, that the level of connection between by bimorphic elements, which create fluctuations on coordinates X, Y, Z, does not exceed -20 dB.

• Шарапов Валерій Михайлович (технічні науки)
• Гуржій Андрій Миколайович (1946–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"