Приведены результаты исследований омических контактов на основе пленок Ni - Au к р-области нитрида галлия. Проведены исследования влияния толщины слоев Ni/Au, условий нанесения и формирования контакта на удельное контактное сопротивление, перераспределение элементов в структурах металл - полупроводник и оптические свойства контактной системы. Получены омические контакты (Ni - Au)/р - GaN с удельным контактным сопротивлением <$E(1~ symbol Ь ~2)~ cdot ~10 sup -3 ~ roman {Ом~ cdot ~см sup 2 }> и прозрачностью 78 % на длине волны 460 нм.

Results of researches of ohmic contacts on the basis of Ni-Au films to p-GaN are demonstrated in the given work. Influences of thickness of layers Ni/Au, conditions of metal deposition and contact formation regimes on specific contact resistance, redistribution of elements in metal-semiconductor structures and optical properties of contact system are investigated. Ohmic contacts (Ni-Au)/р-GaN with specific contact resistance (1...2)·10-3 Оhm·сm2 and a transparency of 78% on length of a wave of 460 nanometers are received.

Ключ. слова: светоизлучающий диод, омический контакт, р-область GaN, пленка Ni/Au
Індекс рубрикатора НБУВ: З852.2

Рубрики:

Напівпровідникові діоди

Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кохан Вероніка Павлівна (юридичні науки)
• Кохан Валерія Павлівна (юридичні науки)
• Ткаченко Володимир Володимирович (1964–) (історичні науки)
• Ткаченко Вікторія Вікторівна (економічні науки)
• Ткаченко Володимир Васильович (ветеринарні науки)
• Ткаченко Володимир Валентинович (економічні науки)
• Ткаченко Валентина Василівна (юридичні науки)
• Ткаченко Віта Віталіївна (юридичні науки)
• Ткаченко Вадим Владиславович (технічні науки)
• Ткаченко Вадим Володимирович (педагогічні науки)
• Ткаченко Віктор Васильович (технічні науки)
• Ткаченко Валентина Володимирівна (медичні науки)
• Ткаченко Владислав Володимирович (педагогічні науки)
• Ткаченко Василь Володимирович (технічні науки)
• Ткаченко Вікторія Валеріївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"