Висвітлено теоретичні засади деяких технологічних хімічних процесів, які широко застосовуються в сучасній мікроелектроніці. Розкрито методи одержання діелектричних покриттів з дрібнодисперсних матеріалів. Увагу приділено питанням фотолітографії, зокрема, планарній технології, особливостям травлення діелектричних і металевих плівок.

Освещены теоретические основы некоторых технологических химических процессов, широко применяемых в современной микроэлектронике. Раскрыты методы получения диэлектрических покрытий из мелкодисперсных материалов. Уделено внимание вопросам фотолитографии, в частности, планарной технологии, особенностям травления диэлектрических и металлических пленок.

• Кравченко Юрій Станіславович (сільськогосподарські науки)
• Кравченко Юрій Степанович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"