Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных распылительных систем (МРС) для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения. Охарактеризованы системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные МРС. Показано влияние конфигурации неоднородного магнитного поля на характеристики планарных магнетронов. Раскрыты возможности применения импульсных МРС при изготовлении покрытий из твердого оксида алюминия, нанесении покрытий на стекла и рулонные материалы.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"