Подано розроблену структуру інформаційної технології аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем (МЕМС) і її складових. Побудовано алгоритмічні моделі елементів МЕМС для компонентного рівня розробки та моделі синтезу конструкцій і технологічних процесів виготовлення МЕМС. Вдосконалено структуру бібліотеки математичних моделей елементів і процесів виготовлення МЕМС, яка використовує вдосконалений формат XMML для внутрішнього представлення моделей в бібліотеці, що забезпечує єдиний підхід до збереження даних в інформаційних технологіях аналізу та синтезу МЕМС.

Приведена разработанная структура информационной технологии анализа и синтеза микроэлектромеханических систем (МЭМС) и ее составляющих. Построены алгоритмические модели элементов МЭМС для компонентного уровня разработки и модели синтеза конструкций и технологических процессов изготовления МЭМС. Усовершенствована структура библиотеки математических моделей элементов и процессов изготовления МЭМС, использующая усовершенствованный формат XMML для внутреннего представления моделей в библиотеке, что обеспечивает единый подход к сохранению данных в информационных технологиях анализа и синтеза МЭМС.

• Теслюк Валентина Михайлівна (психологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"