РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000122211<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Зубарев Е. Н. 
Влияние структурного состояния слоев молибдена на образование межфазных перемешанных зон в многослойных композициях Mo/Si / Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова, С. Юлин, Т. Файгл, Т. Кульман, Н. Кайзер // Металлофизика и новейшие технологии. - 2002. - 24, № 10. - С. 1429-1437. - Библиогр.: 15 назв. - рус.

Досліджено вплив структури молібденового шару та напружень в ньому на формування аморфних перемішуваних зон (АПЗ) у багатошарових плівках, одержаних за допомогю методу магнетронного розпилення. Зазначено, що коли номінальна товщина молібденового шару <$E t sub roman Mo sup roman ном ~<<~ 2,3> нм, Мо знаходиться в аморфному стані, і багатошарова структура описується 4-шаровою моделлю з АПЗ, які мають близьку товщину <$E t sub roman Mo-на-Si ~symbol Ы~ t sub roman Si-на-Mo ~symbol Ы~ 1,2> нм. Виявлено значну зміну кристалічного стану Мо, коли його номінальна товщина збільшується. У разі <$E t sub roman Mo sup roman ном ~symbol У~ 2,3> нм, Мо є кристалічним і текстурованим, а товщина АПЗ на міжшаровій межі Si-на-Мо зменшується до <$E t sub roman Si-на-Mo ~symbol Ы~ 0,6> нм. Зазначено, що у разі подальшого збільшення <$E t sub roman Mo sup roman ном ~>>>>~ 2,3> нм у молібденовому шарі генеруються значні стискувальні напруження, які пригнічують формування АПЗ на міжшаровій межі Si - на - Мо і багатошарова композиція описується 3-шаровою моделлю тільки з однією АПЗ на межі Мо - на - Si.


Ключ. слова: многослойные периодические композиции, межфазные перемешанные зоны, диффузия, структурные превращения, механические напряжения
Індекс рубрикатора НБУВ: К235.120.26 + К663.033-18

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського