Зубарев Е. Н. Влияние структурного состояния слоев молибдена на образование межфазных перемешанных зон в многослойных композициях Mo/Si / Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова, С. Юлин, Т. Файгл, Т. Кульман, Н. Кайзер // Металлофизика и новейшие технологии. - 2002. - 24, № 10. - С. 1429-1437. - Библиогр.: 15 назв. - рус.Досліджено вплив структури молібденового шару та напружень в ньому на формування аморфних перемішуваних зон (АПЗ) у багатошарових плівках, одержаних за допомогю методу магнетронного розпилення. Зазначено, що коли номінальна товщина молібденового шару <$E t sub roman Mo sup roman ном ~<<~ 2,3> нм, Мо знаходиться в аморфному стані, і багатошарова структура описується 4-шаровою моделлю з АПЗ, які мають близьку товщину <$E t sub roman Mo-на-Si ~symbol Ы~ t sub roman Si-на-Mo ~symbol Ы~ 1,2> нм. Виявлено значну зміну кристалічного стану Мо, коли його номінальна товщина збільшується. У разі <$E t sub roman Mo sup roman ном ~symbol У~ 2,3> нм, Мо є кристалічним і текстурованим, а товщина АПЗ на міжшаровій межі Si-на-Мо зменшується до <$E t sub roman Si-на-Mo ~symbol Ы~ 0,6> нм. Зазначено, що у разі подальшого збільшення <$E t sub roman Mo sup roman ном ~>>>>~ 2,3> нм у молібденовому шарі генеруються значні стискувальні напруження, які пригнічують формування АПЗ на міжшаровій межі Si - на - Мо і багатошарова композиція описується 3-шаровою моделлю тільки з однією АПЗ на межі Мо - на - Si. Ключ. слова: многослойные периодические композиции, межфазные перемешанные зоны, диффузия, структурные превращения, механические напряжения Індекс рубрикатора НБУВ: К235.120.26 + К663.033-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|