Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000123478<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Волков С. Г. Гетерування рекомбінаційно-активних домішок у мультикристалітному кремнії при швидких термічних обробках / С. Г. Волков, А. А. Євтух, В. Г. Литовченко, О. С. Оберемок, В. Г. Попов, Ю. В. Рассамакін, Б. М. Романюк // Укр. фіз. журн. - 2002. - 47, № 7. - С. 684-689. - Бібліогр.: 24 назв. - укp.З використанням методів мас-спектрометрії нейтральних частинок з пошаровим аналізом і спектроскопії поверхневої фотоелектрорушійної сили досліджено процеси гетерування рекомбінаційно-активних домішок у мультикристалітному (крупнозернистому полікристалічному) кремнії. Використано швидкий термічний відпал (the rapid thermal annealing (RTA)) в ізохронному й ізотермічному режимах. Дозовані концентрації домішок заліза та міді введено в зразки шляхом іонної імплантації. Гетерний шар формувався на тильному боці зразка та складався з шару алюмінію, напиленого на модифіковану хімічним травленням розвинуту поверхню Si. Оцінено енергії активації та коефіцієнти дифузії міді та заліза в імплантованих зразках, підданих RTA. Запропоновано оптимальні температури та час RTA для одержання гетеруючого ефекту. Спостережено прискорену (аномальну) дифузію заліза в гетерний шар, у той час як коефіцієнт дифузії міді був близький до літературних даних для монокристалічного кремнію. Обговорено можливі механізми виявлених ефектів. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|