Досліджено утворення нанокристалічної структури в плівках TaSi2 на монокристалічному кремнії. Нанокристалічну структуру та механічні властивості плівок TaSi2, одержаних розпиленням мішені TaSi2, досліджено за допомогою методів рентгенівської дифракції, просвітлювальної електронної мікроскопії поперечних зрізів (cross-section), резистометрії та циклічного наноіндентування. Виявлено, що зменшення швидкості осаджування плівки з 1 до 0,2 нм/с призводить до збільшення вмісту в ній домішок O, C і N. Плівки з підвищеним змістом домішкових атомів після осадження перебувають в аморфному стані. Відпал за 970 K зумовлює утворення нанокристалічної структури, яка складається з суміші дисиліциду TaSi2 і невеликої кількості силіциду Ta5Si3. Середній розмір зерна фаз порядку 10 нм. Кристалізація плівок суттєво змінює їх механічні властивості: нанотвердість та модуль пружності значно збільшились. Плівки стають крихкими та напруженими. У плівках, одержаних зі швидкістю осаджування 1 нм/с, в основному спостережено дисиліцид танталу й аморфну фазу. Після відпалів аморфна фаза біля підкладки кремнію існує разом з колоноподібними зернами дисиліциду танталу розміром <$E 150~symbol Ф~500> нм, а відпалена тонка плівка стає неоднорідною за товщиною. Зазначено, що нанотвердість та модуль пружності збільшуються.

• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"