РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000126785<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Демчишин А. В. 
Исследовательская ионно-плазменная установка для нанесения покрытий в вакууме / А. В. Демчишин, Ю. А. Курапов, А. А. Гончаров, В. А. Миченко, Е. Г. Костин, Е. Г. Терновой // Пробл. спец. электрометаллургии. - 2001. - № 4. - С. 41-43. - Библиогр.: 2 назв. - рус.

Спроектирована и изготовлена исследовательская многофункциональная вакуумная установка для изучения физических принципов работы устройств ионного травления, распыления внутри вакуумной рабочей камеры и разработки необходимых технологических процессов. Установка позволяет осуществлять поочередно или одновременно оба процесса - вакуумно-плазменное травление и осаждение покрытия на рабочие поверхности длинномерных изделий.


Ключ. слова: вакуумная установка, ионно-плазменные устройства, ионная бомбардировка, вакуумное травление, распыление, цилиндрический магнетрон, напыление длинномерных изделий
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-5

Рубрики:
 Металізація металів у вакуумі 

Шифр НБУВ: Ж14257 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського