Наведено дані комп'ютерного та лабораторного моделювання процесу осадження плівок Cr за умов одночасного бомбардування іонами N з енергіями 15 та 30 кеВ. Виявлено, що за умов сталої швидкості конденсації та заданих енергіях бомбардувальних частинок у зростаючій плівці можна реалізувати незмінність відношення кількості осаджуваних атомів до кількості імплантованих іонів (ат/іон). Методологічно обгрунтовано використання резистивного методу для контролю швидкості осадження Cr. Виявлено, що за умов опромінення кількість зародків зерен збільшується та зменшується їх середній розмір.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)
• Неклюдов Іван Матвійович (1935–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"