РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000139211<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Васин А. В. 
Сравнительный анализ тонких пленок гидрогенизированного и негидрогенизированного аморфного карбида кремния / А. В. Васин, А. В. Русавский, С. П. Старик, В. И. Кушниренко, А. М. Куцай, А. Н. Назаров, В. С. Лысенко, А. В. Семенов, В. М. Пузиков, А. Г. Гонтарь, С. Н. Дуб // Сверхтвердые материалы. - 2004. - № 3. - С. 36-46. - Библиогр.: 6 назв. - рус.

Описаны пленки a-SiC:H и a-SiC с составом, близким к стехиометрическому, полученные с помощью методов реактивного магнетронного распыления кремния в атмосфере Ar - CH4 и ионно-плазменного распыления с использованием модифицированного вакуумно-дугового источника из карбида кремния. Проведен комплексный сравнительный анализ морфологии поверхности, структуры, механических свойств, края фундаментального поглощения и люминесцентных свойств пленок, а также влияния на них температуры вакуумного отжига.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619-1

Рубрики:
 Одержання плівок 

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського