Проведені дослідження на керованому комп'ютером трикристальному рентгенівському дифрактометрі з паралельною конфігурацією (n, -n, n) під час симетричного відбиття (111) <$E roman Cu K sub {alpha 1} >-променів від поверхні кремнієвих пластинок. Поверхня зразків порушувалась поліруванням її пастою АСМ 1/0 на тканині. Порівняно дифрактограми від порушеного й еталонного (з хімічно полірованою поверхнею) зразків з урахуванням залежності ширини дифузного піка від кута повороту зразка, а також поглинання когерентної складової розсіювання. Моделюванням дифракційної кривої на ЕОМ одержано кількісну інформацію про хід залежності величини статичного фактора Дебая - Валера та відносної деформації поверхневих шарів кристала від глибини їх залягання. Виявлено низькотемпературну релаксацію напружень у порушених поліруванням шарах зразків. Одержані моделюванням значення товщин порушеного шару порівняно зі зразками, виміряними методом ЕВІС-контрасту. Відзначено непоганий збіг результатів.

Ключ. слова: triple-crystal x-ray diffraction, experimental determination of defects, strains
Індекс рубрикатора НБУВ: В372.5 + Ж613

Рубрики:

Поверхневі явища у твердих тілах

Обробка різанням

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"