Проаналізовано причини немонотонної поведінки малокутового розсіювання світла (МКРС) у кристалах кремнію під час переходу атомів домішки кисню в електрично активний стан у складі термодонорів (ТД). Показано, що безпосередньо причиною як зростання, так і зменшення МКРС у ході термообробки за температури 450 <$E symbol Р>C є утворення мікроскупчень ТД на місці вихідних мікрофлуктуацій концентрації кисню. З аналізу експериментальних даних одержано кількісні оцінки локальної концентрації ТД у мікроскупченнях різних розмірів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"