Lepikh Ya. I. The state and prospects of the sensor electronics based on acoustoelectronic phenomena = Стан і перспективи сенсорної електроніки на основі акустоелектронних явищ / Ya. I. Lepikh // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2004. - № 1. - С. 45-58. - Библиогр.: 25 назв. - англ.З позиції необхідності створення нового покоління сенсорів, що відповідають вимогам істотного підвищення їх метрологічних характеристик та інтелектуалізації, розглянуто можливості використання для цієї мети акустоелектронних явищ. Проаналізовано досягнуті результати досліджень і розробок сенсорів, побудованих на основі акустоелектронних ефектів, що мають місце в разі поширення поверхневих акустичних хвиль. Наведено результати досліджень нових перспективних принципів побудови сенсорів такого класу. Описано конструктивно-технологічні рішення деяких сенсорів фізичних величин і сенсорів газу. Зазначено можливі області застосування розробок і наведено основні технічні характеристики деяких сенсорів. Ключ. слова: acoustic phenomena, surface acoustic waves, sensor, film structures, adsorption Індекс рубрикатора НБУВ: З85
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|