Макогон Ю. М. Процеси фазоутворення в тонкоплівковій композиції Ni (10 нм)/Ti(5 нм) на монокристалічному кремнію (001) при термообробці у вакуумі / Ю. М. Макогон, О. П. Павлова, Г. Беддіс, А. В. Могилатенко, О. В. Чухрай // Наук. вісті НТУУ "КПІ". - 2005. - № 5. - С. 61-65. - Бібліогр.: 13 назв. - укp.Досліджено твердотільні реакції у плівковій композиціїі Ni(10 нм)/ Ti(5 нм) на монокристалічному кремнію орієнтації (001) за допомогою методів рентгенографічного, електронографічного та резистометричного аналізів і резерфордівського зворотного розсіювання. Одержано тонкоплівкову композицію за допомогою послідовного магнетронного напилення шарів титану та нікелю без розвакуумування на кремнієву підкладинку. Встановлено, що введення додаткового шару титану під час відпалу у вакуумі призводить до збільшення термічної стійкості силіциду NiSi. Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16492 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|