Методом молекулярной динамики проведено математическое моделирование атомно-ионного осаждения пленок ниобия. Ионный поток составлял 10 % от общего потока осаждаемых атомов, энергия ионов - 200 эВ. После термического осаждения пленки при температуре 300 K до толщины, при которой достигается стационарная плотность, проведено атомно-ионное осаждение пленки. Установлено, что ионное воздействие приводит к повышению плотности растущей пленки и уменьшению ее шероховатости. Показано, что ионное уплотнение происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению количества "микротрещин", под которыми располагаются поры. Вторым механизмом является ионное уплотнение пленок за счет вбивание собственных междоузельных атомов.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)
• Неклюдов Іван Матвійович (1935–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"