Описаны исследования электростатического потенциала поверхности кремния с помощью двух различных акустоэлектронных эффектов: поперечного акустоэлектрического (ПАЭ) и акустоемкостного (АЕЭ). Для этого регистрировались кинетики спада ПАЭ и АЕЭ после прохождения в слоистой структуре пьезодиэлектрик - полупроводник импульса поверхностной акустической волны. Отношение значений ПАЭ и АЕЭ при малом отклонении от состояния равновесия сопоставлено с теоретически рассчитанной зависимостью этого отношения от поверхностного потенциала и таким образом определялось значение электростатического потенциала на поверхности кремния. Подобные исследования применимы как к реальной, так и окисленной поверхностям, а также перспективны для изучения влияния на Si адсорбции газов, освещения и других факторов.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"