Проведено исследование электрофизических характеристик пленок ванадия, осажденных в условиях бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ. Изучено влияние структуры границ конденсатов на механизм проводимости. Обнаружено, что ионная бомбардировка способствует формированию нанокристаллической структуры нитрида ванадия с широкими аморфными границами. Отжиг таких объектов до 500 <$E symbol Р>C не приводит к заметному изменению их структуры и проводимости. Выявлено, что полученный нитрид ванадия является полупроводником. Энергия активации переноса заряда при отжиге непостоянна и увеличивается с ростом температуры. Температурные коэффициенты сопротивления отрицательны и равны <$E -5,1~cdot~10 sup -4> и <$E -6,86~cdot~10 sup -4~roman град sup -1> для значений отношения N/V = 0,3 и N/V = 0,6, соответственно.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"