Представлено результати дослідження впливу УФ- і видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/<$E roman см sup 2>) на структуру та властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю a-C:N у процесі їх росту. Виявлено, що УФ-опромінювання ростової поверхні плівок є ефективним для травлення графітної фази, веде до росту структурної впорядкованості плівок і поліпшує їх якість.

• Варюхін Віктор Миколайович (1952–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"