Павлова О. П. Вплив умов термообробки на твердотільні реакції в нанорозмірній плівковій композиції Ni(10 нм)/C(2 нм)/Si(001) / О. П. Павлова, Ю. М. Макогон, Г. Беддіс, Г. В. Могилатенко, О. В. Чухрай // Наук. вісті НТУУ "КПІ". - 2006. - № 5. - С. 53-58. - Бібліогр.: 12 назв. - укp.Досліджено вплив середовища відпалу на формування фазового складу в тонкоплівковій системі Ni(10 нм)/C(2 нм)/Si(001), які одержано за допомогою магнетронного методу напилення. Відпали відбувались як у проточному азоті, так і у вакуумі <$E 1,3~cdot~10 sup -4> Па в інтервалі температур 400 - 1000 <$E symbol Р>C протягом 30 с. Дослідження термічно активованих твердотільних реакцій тонкоплівкової системи проведено рентгенографічним, електронографічним, резистометричним методами, методом електронної мікроскопії на просвіт поперечних перерізів ("cross-section"), а також методом резерфордовського оберненого розсіяння. Встановлено, що середовище відпалу суттєво впливає на розвиток твердотільних реакцій у нанорозмірній плівковій композиції Ni(10 нм)/С(2 нм)/Si(001). Індекс рубрикатора НБУВ: К663.03-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16492 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|